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潔凈室工程
潔凈室的定義
潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室或潔凈廠房,是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。廣泛的運用于半導體、微電子、PCB、光電技術、光學儀器、生物工程、醫藥衛生、精細化工和食品工業等高科技領域提供10級-10萬級的潔凈生產環境。
潔凈室的分類
一、按用途分類
(1)工業潔凈室--以無生命的微粒作為控制對象。主要控制無生命微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓。它適用于精密工業、電子工業、宇航工業、原子能工業、印刷工業、照相工業等部門。
(2)生物潔凈室--以有生命的微粒為控制對象,又可分為:
1、一般生物潔凈室。主要控制有生命微粒對工作對象的污染。同時內部材料要經受各種滅菌劑侵蝕,內部一般保持正壓??捎糜谥扑幑I、食品工業、醫療設施、實驗設施等。
2、生物安全潔凈室。主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染,內部需保持負壓。
用于實驗設施、生物工程、醫療設施等。
二、按氣流分類
按氣流可分:
1、非單向流潔凈室
非單向流潔凈室的原理就是稀釋作用。當一股干凈氣流從送風口送入時,迅速向四周擴散、混合。同時把差不多同樣數量的氣流從回風口排走,這股干凈氣流稀釋著室內污染的空氣,把原來含塵埃濃度很高的室內空氣沖淡了,一直達到平衡。所以氣流擴散的越快,越均勻,那么稀釋的效果當然越好。
2、單向流潔凈室
單向潔凈室的特點:
a.全室斷面上的流速比較均勻
b.在工作區內流線平行(流線平行指時均流線彼此平行)
c.在工作區內沒有渦流
1、非單向流潔凈室
非單向流潔凈室的原理就是稀釋作用。當一股干凈氣流從送風口送入時,迅速向四周擴散、混合。同時把差不多同樣數量的氣流從回風口排走,這股干凈氣流稀釋著室內污染的空氣,把原來含塵埃濃度很高的室內空氣沖淡了,一直達到平衡。所以氣流擴散的越快,越均勻,那么稀釋的效果當然越好。
2、單向流潔凈室
單向潔凈室的特點:
a.全室斷面上的流速比較均勻
b.在工作區內流線平行(流線平行指時均流線彼此平行)
c.在工作區內沒有渦流
單向流潔凈室的分類
一、垂直單項潔凈室
1、頂棚布滿高效過濾器送風,全地板格柵回風這是典型的垂直單向流潔凈室,優點是:可獲得均勻向下的單向氣流,因而自凈能力強,能夠達到最高的潔凈度級別。
2、測布高效過濾器頂棚阻尼層送風,全地板格柵回風。
3、頂棚和側面布高效過濾器送風,全地板格柵回風。
4、全頂棚送風,兩側下回風。
2、測布高效過濾器頂棚阻尼層送風,全地板格柵回風。
3、頂棚和側面布高效過濾器送風,全地板格柵回風。
4、全頂棚送風,兩側下回風。
二、水平單向流潔凈室
1、送風墻布滿高效過濾器水平送風,全墻面回風
2、“隧道”式單向流送風。
2、“隧道”式單向流送風。
三、混合流潔凈室(局部單向流)、潔凈度等級標準(常用)、美國聯邦標準FS209E
為了保證潔凈室(廠房)內的塵??刂圃跐崈羰遥◤S房)潔凈等級所要求的塵粒數以內,一般以凈化空調系統中使用三級或四級空氣過濾器,來攔截進入室內氣流中的塵埃粒,所使用的空氣過濾器按其對空氣過濾的效果分以下幾種:即初效過濾器、中效過濾器、亞高效過濾器和高效過濾器。
材料要求
潔凈室的建筑裝飾對潔凈室綜合性能有直接影響,故要求:表面平滑,有耐磨性、不易產生靜電、不吸濕、不透濕、材料不產塵、不易積塵(嚴密)、地面耐磨性、耐侵蝕、防靜電、防滑、易清掃。
結構材料
1、潔凈廠房墻、頂板材料一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。
2、地面可采用環氧自流坪地板或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可以選用防靜電型。
3、送回風管道用熱鍍鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4、高效送風口用不銹鋼框架,美觀潔凈,沖孔網板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
2、地面可采用環氧自流坪地板或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可以選用防靜電型。
3、送回風管道用熱鍍鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4、高效送風口用不銹鋼框架,美觀潔凈,沖孔網板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
凈化參數要求
凈化室溫、濕度范圍
氣流流型和送風量(靜態)
為了保證空氣潔凈度等級的送風量,表中有關數據進行計算或室內發塵量進行計算。
空氣潔凈度等級(美國聯邦標準209E) | 氣流流型 | 平均風速(m/s) | 換氣次數(h-1) |
1-10級 | 單向流 | 0.3-0.5 | - |
100級 | 單向流 | 0.2-0.5 | - |
1000級 | 非單向流 | - | 50-60 |
10000級 | 非單向流 | - | 15-25 |
100000級 | 非單向流 | - | 10月25日 |
注:1、換氣次數適用于層高小于4.0m的潔凈室。2、室內人員少/熱源少時,宜采用下限值。